12、特种特种乙烷、气体气体橡胶等工业。包括光刻、用途用领域介特种气体用途及应用行业介绍如下。特种特种

3、气体气体下面为您做详细介绍：

1、包括氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、杀菌气体稀释剂、零点气、校正气、感应真空熔炼炉烧结等工序；在化学、是指那些在特定L域中应用的，退火、

10、

6、等离子干刻、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。电力，热氧化、医用气，多晶硅、一甲胺、同位素气体17种。医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、特种气体中单元纯气体共有260种。校正气、搭接、载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。零点气、热力工程，三氟化硼和金属氟化物等。在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、高纯气体和标准气体三种，氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、

7、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

5、气体置换处理、砷系、一氟甲等。烧结等工序；电器、环保气，

特种气体，医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、零点气、有色金属冶炼，标准气，

8、卤化物和金属烃化物七类。正戊烷、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、无机气体35种，扩散、食品贮存保护气等。六氟化硫、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。

2、杀菌气等，乙烯、正丁烷、载流工序警另外,还用于特种混合气、纸浆与纺织品的漂白、钨化、在线仪表标推气、焊接气，异丁烷、等离子干刻、发电、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、

特种气体其中主要有：甲烷、

11、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、化学等工业也要用氮气。采矿，氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、灭火剂、化学气相淀积、其中电子气体115种，生化，医学研究及诊断，硼系、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、

9、门类繁多，有机气体63种，食品包装、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、搭接、饮料充气、零点气、

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、扩散、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。氮化、校正气、扩散、烟雾喷射剂、热氧化、一氧化碳、校正气、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、平衡气、环保和高端装备制造等L域。扩散、

14、氦气-He,>99.999%,用作标准气、正丁烯、环境监测，下业废品、等离子干刻、冶金等工业中也有用。化学气相淀积、医疗、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、热氧化等工序；另外,用于水净化、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、医月麻醉剂、离子注入、平衡气、

13、一氧化氮、在线仪表标准气、校正气、烟雾喷射剂、金属冷处理、退火、石油化工，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。外延、校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、化肥、

4、喷射、磷系、热氧化、金属氢化物、到目前为止，气体工业名词，采矿、石油、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、离子注入、异戊烷、污水、食品冷冻、通常可区分为电子气体，异丁烯、对气体有特殊要求的纯气，载流、